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蓝特光学请求一种晶圆片视觉检测设备及检测的新方法专利进步晶圆片的功率

类别:六速旋转粘度计   来源:六速旋转粘度计    发布时间:2024-10-28 18:00:14  浏览:1

  金融界 2024 年 9 月 18 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,浙江蓝特光学股份有限公司请求一项名为“一种晶圆片视觉检测设备及检测的新方法“,公开号 CN2.0 ,请求日期为 2024 年 7 月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种晶圆片视觉检测设备,触及晶圆片生产领域,包含工作台,所述工作台的上方经过升降组织衔接有定位框,所述定位框内侧一端设置有视觉查验测验的组织,且定位框内侧另一端设置有进出料组织。本发明将视觉查验测验的组织与进出料组织设置在一个一起的定位框上,还对晶圆篮做了改动,视觉查验测验的组织与进出料组织经过定位框一起笔直升降,然后合作进出料组织的直线运动,即可对晶圆篮内的每一层晶圆片进行视觉检测,选用笔直升降检测的方法,运动行程少,运动规模小,中心耗费时连续,进一步提升了晶圆片检测的功率,并且查验测验的组织与进出料组织一直坐落同一高度,不需要在额定调整视觉查验测验的组织的高度。

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